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先进封装(Advanced Packaging)是当前半导体产业突破摩尔定律物理极限、提升系统性能与集成度的关键技术路径。随着AI算力需求爆发,先进封装已从“可选项”变为“必选项”,其中台积电主导的CoWoS(Chip-on-Wafer-on-Substrate)技术,尤其是其主流变体CoWoS-S,已成为高性能计算(HPC)、AI训练芯片和高带宽存储(HBM)集成的核心封装方案。

先进封装技术是当前延续芯片性能提升的核心路径之一,其中CoWoS-S作为一种关键的2.5D封装方案,已成为驱动AI与高性能计算(HPC)芯片发展的主要引擎。
下面的表格整理了当前主流的先进封装技术及其核心特征,可以帮助你快速了解CoWoS-S所处的技术背景。
| 封装技术类型 | 核心特点 | 主要实现方式/技术 | 典型应用场景 |
| 2.5D封装 | 在水平面引入中介层,实现芯片的高密度横向集成,属于“后摩尔时代”提升性能的关键路径。 | 硅中介层(TSV Interposer):代表技术为台积电CoWoS-S。 | AI加速器(GPU)、HPC处理器、高带宽内存(HBM)集成。 |
| 有机中介层/高密度RDL基板:如CoWoS-R。 | |||
| 局部硅互连桥(Si Bridge):如英特尔EMIB、台积电CoWoS-L。 | |||
| 3D封装 | 通过垂直方向的硅通孔(TSV)进行芯片的立体堆叠,实现最短的互联距离和最高的集成密度。 | TSV(硅通孔)、混合键合(Hybrid Bonding)。 | 高性能存储堆叠(如HBM)、传感器、逻辑芯片与存储器的3D集成。 |
| 扇出型封装(Fan-Out) | 省去传统封装基板,在晶圆重构时直接制作高密度重布线层(RDL),实现更薄、更高I/O密度的封装。 | 扇出型晶圆级封装 (FOWLP)、扇出型面板级封装 (FOPLP)。 | 移动通信、物联网芯片、部分中高端处理器。 |
| 系统级封装(SiP) | 不同工艺、功能的芯片(如逻辑、存储、射频)集成于一个封装内,强调功能的完整性与异构整合。 | 可结合倒装焊、引线键合、嵌入式等多种技术。 | 复杂功能模组、射频前端、可穿戴设备等。 |
以下将从先进封装工艺体系和CoWoS-S市场应用两个维度进行详细全面介绍:

先进封装区别于传统引线键合(Wire Bonding),通过引入更高密度互连结构和异构集成能力,实现芯片性能、功耗、尺寸的协同优化。其核心技术要素包括:
CoWoS(Chip-on-Wafer-on-Substrate)是台积电推出的2.5D先进封装平台,主要分为S、L、R三种类型。其中,CoWoS-S是最经典、应用最广泛的一代,其核心特征是使用带有硅通孔(TSV)的硅中介层作为多芯片互联的平台。
技术架构:它将处理器(如CPU/GPU)、高带宽内存(HBM)等多个芯片,通过微凸块(µBumps)高密度地排列并互连在一个大尺寸的硅中介层上。这个中介层内部密布TSV和细密的金属布线(RDL),承担着芯片间高速数据传输和垂直导通至外部封装基板(Substrate)的角色。
核心优势:硅中介层提供了媲美晶圆级的超高互连密度和极佳的信号完整性,使得处理器与HBM之间的数据传输带宽达到TB/s级别,同时具有优异的散热性能。这也是AI/HPC芯片选择它的根本原因。
制造流程:可以简化为两个主要阶段:
作用:在芯片I/O焊盘上制作金属凸点(如铜柱+锡帽),作为芯片与中介层或基板之间的电连接。
演进方向:节距(pitch)不断缩小(从50μm向20μm甚至10μm发展),支撑更高I/O密度。
关键材料:铜、锡银合金、UBM(Under Bump Metallization)阻挡层。
作用:重新排布芯片原始焊盘位置,使其适配外部封装布局,实现更灵活的I/O分布。
工艺特点:采用光刻+电镀方式,在晶圆表面构建多层金属走线。
技术趋势:线宽/线距(L/S)从2/2μm向0.5/0.5μm演进(2027年后),支持更高密度互连。
作用:在硅片中垂直钻孔并填充导电材料,实现芯片堆叠间的三维电气连接。
应用场景:主要用于3D封装(如HBM内存堆叠、3D NAND)。
挑战:深宽比高、热应力大、成本高。
类型:
硅中介层(Silicon Interposer):采用CMOS工艺制造,具备亚微米级布线能力,用于CoWoS-S。
有机中介层 / RDL中介层:成本更低,用于CoWoS-L。
功能:提供高密度互连通道,集成无源器件(如iCap电容),缓解信号完整性问题。
CoWoS-S(Chip-on-Wafer-on-Substrate with Silicon Interposer)是台积电最早推出的CoWoS版本,采用全硅中介层(passive silicon interposer)作为芯片互连平台。
| 项目 | 参数/说明 |
| 中介层材质 | 单晶硅(无源,不含晶体管) |
| 制造工艺 | 深沟槽刻蚀 + 铜电镀,形成亚微米级RDL |
| 面积扩展 | 通过“双路光刻拼接”(Double Patterning Stitching)实现 >1个光罩面积(目前达2500 mm²,约3倍EUV光罩) |
| 集成能力 | 支持最多8颗HBM堆栈 + 1~2颗SoC(如GPU) |
| 附加功能 | 集成深沟槽电容器(iCap),电容密度 >300 nF/mm²,提升电源完整性 |
| 热管理 | 采用新型TIM(热界面材料),热导率达20 W/K |
代表产品:
英伟达 A100 / H100 GPU(基于Ampere/Hopper架构)
AMD Instinct MI300 系列
需求驱动:
H100单颗芯片需集成6~8颗HBM3,总带宽达3.35 TB/s;
硅中介层提供超低延迟、高带宽互连,满足AI模型训练对内存墙的突破需求。
市场份额:英伟达占据台积电CoWoS产能超50%,是最大客户。
客户:博通(Broadcom)、Marvell、亚马逊(AWS Trainium)、谷歌(TPU早期版本)
应用场景:
定制化AI加速芯片;
数据中心网络处理器(如DPU);
存算一体架构探索。
如Xilinx(AMD)部分Versal AI Core系列也采用CoWoS-S以支持HBM集成。
| 指标 | 数据 |
| 全球CoWoS月产能(2024年底) | ~4万片(12英寸等效) |
| 2025年预计产能 | 9.2万片/月(台积电占8万片) |
| CoWoS-S占比(2025年) | 逐步下降,但仍占约30%~40%(因CoWoS-L快速上量) |
| 主要封测合作方 | 台积电自有产能为主,部分订单外包给日月光(ASE) |
| 国产进展 | 中国尚无完整CoWoS-S量产能力,但在ABF载板、清洗剂(如合明科技)、测试环节有所突破 |
| 维度 | CoWoS-S | CoWoS-L | EMIB(Intel) |
| 中介层类型 | 全硅中介层 | RDL + LSI小芯片拼接 | 嵌入式微型硅桥 |
| 成本 | 高(硅面积大) | 中(降低硅用量) | 低(复用基板工艺) |
| HBM支持 | 最多8颗 | 最多12颗HBM3 | 支持HBM3e/HBM4(EMIB-T) |
| 设计灵活性 | 低 | 高 | 高 |
| 目标客户 | 英伟达、AMD | 英伟达Blackwell Ultra、下一代AI芯片 | 谷歌、Meta、微软等云厂商 |
| 量产状态 | 成熟(S5) | 2024年推出,2025Q4起主流量产 | 已量产近10年,持续迭代 |
CoWoS-S将逐步退居二线,CoWoS-L成为2025–2027年主流;
CoWoS-R(更大面积、3.3倍光罩)仍处技术储备阶段,面向超大规模AI芯片(如GB200 NVL72)。
中国正加速布局CoWoS相关产业链:
汇成股份:规划2027年实现3D DRAM封装6万片/月;
沃格光电:玻璃基板(GCP)技术小批量交付,探索替代硅中介层;
合明科技:开发CoWoS专用清洗剂,打破海外垄断。
英伟达主导需求,但云厂商转向EMIB趋势显现(如谷歌TPU v8/v9可能采用Intel方案);
台积电通过外包策略缓解产能瓶颈,推动日月光、矽品等OSAT企业切入高端封装。
目前,CoWoS-S的核心应用几乎完全集中于对算力和带宽有极致要求的 AI与高性能计算领域。
市场驱动力:以英伟达、AMD为代表的AI芯片是最大需求方。例如,英伟达的A100、H100,以及AMD的Instinct MI系列等旗舰产品,均采用了CoWoS-S封装。根据摩根士丹利报告,仅英伟达一家在2026年对CoWoS(主要是S和L型)的总需求预计就将达到约59.5万片晶圆,占全球需求的六成左右。
产能与供应链:台积电是CoWoS-S的主要供应者,占据绝对主导地位。为应对激增的需求,台积电正在全球(包括美国亚利桑那州)积极扩产。同时,像安靠(Amkor)、日月光(ASE)等专业封测厂也开始分担部分CoWoS(主要是R型)的封装环节。
CoWoS-S作为先进封装的“黄金标准”,在过去五年支撑了AI算力革命的爆发式增长。尽管其正面临成本与扩展性瓶颈,逐步让位于CoWoS-L,但其在高带宽、高可靠性场景中的地位短期内难以完全取代。未来,先进封装将呈现CoWoS与EMIB双轨并行、硅基与玻璃基材料共存、国际巨头与本土企业竞合的新格局,成为全球半导体产业竞争的战略高地。
CoWoS-S先进封装清洗剂-合明科技锡膏助焊剂清洗剂介绍:
水基清洗的工艺和设备配置选择对清洗精密器件尤其重要,一旦选定,就会作为一个长期的使用和运行方式。水基清洗剂必须满足清洗、漂洗、干燥的全工艺流程。
污染物有多种,可归纳为离子型和非离子型两大类。离子型污染物接触到环境中的湿气,通电后发生电化学迁移,形成树枝状结构体,造成低电阻通路,破坏了电路板功能。非离子型污染物可穿透PC B 的绝缘层,在PCB板表层下生长枝晶。除了离子型和非离子型污染物,还有粒状污染物,例如焊料球、焊料槽内的浮点、灰尘、尘埃等,这些污染物会导致焊点质量降低、焊接时焊点拉尖、产生气孔、短路等等多种不良现象。
这么多污染物,到底哪些才是最备受关注的呢?助焊剂或锡膏普遍应用于回流焊和波峰焊工艺中,它们主要由溶剂、润湿剂、树脂、缓蚀剂和活化剂等多种成分,焊后必然存在热改性生成物,这些物质在所有污染物中的占据主导,从产品失效情况来而言,焊后残余物是影响产品质量最主要的影响因素,离子型残留物易引起电迁移使绝缘电阻下降,松香树脂残留物易吸附灰尘或杂质引发接触电阻增大,严重者导致开路失效,因此焊后必须进行严格的清洗,才能保障电路板的质量。
合明科技研发的水基清洗剂配合合适的清洗工艺能为芯片封装前提供洁净的界面条件。
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半导体技术应用节点:FlipChip ;2D/2.5D/3D堆叠集成;COB绑定前清洗;晶圆级封装;高密度SIP焊后清洗;功率电子清洗。